מודל: link
סילבוס: link

מרצה: דוד אילתה
מתרגל: איליי בנבניסטי

שימו לב

הרבה המלל כאן הוא העתק 1:1 מהסיכומים של דוד אילתה.

סיכומים

שיעורי בית

ביבליוגרפיה

  • Tang, W. C., Nguyen, T.-C. H., & Howe, R. T. (n.d.). Laterally Driven Polysilicon Resonant Microstructures.
  • Grade, J. D., Jerman, H., & Kenny, T. W. (2003). Design of large deflection electrostatic actuators. Journal of Microelectromechanical Systems, 12(3), 335–343. https://doi.org/10.1109/JMEMS.2003.811750