מרצה: דוד אילתה
מתרגל: איליי בנבניסטי
שימו לב
הרבה המלל כאן הוא העתק 1:1 מהסיכומים של דוד אילתה.
סיכומים
- MCS1_001 מבוא
- MCS1_002 שדות שוליים ומשפעל מסרק
- MCS1_003 לינאריות קורה בכפיפה
- MCS1_004 Side Pull-In
- MCS1_005 חומרים דיאלקטריים
- MCS1_006 קורות בימורפיות
- MCS1_007 רזונטורים
- MCS1_008 רזונטורים לא לינאריים
- MCS1_009 פיאזואלקטריות
- MCS1_010 משפעל פיאזואלקטרי
- MCS1_011 תרמואלסטיות
- MCS1_012 מודולציה ודימודולציה
ביבליוגרפיה
- Tang, W. C., Nguyen, T.-C. H., & Howe, R. T. (n.d.). Laterally Driven Polysilicon Resonant Microstructures.
- Grade, J. D., Jerman, H., & Kenny, T. W. (2003). Design of large deflection electrostatic actuators. Journal of Microelectromechanical Systems, 12(3), 335–343. https://doi.org/10.1109/JMEMS.2003.811750